1. Vibrationsfrequenz und -amplitude: Je höher die Vibrationsfrequenz und je größer die Amplitude, desto höher ist die Geschwindigkeit und Intensität der Bewegung sowohl des Mediums als auch des Werkstücks. Höhere Vibrationsfrequenzen und -amplituden verstärken die Kollisions- und Schleifwirkung zwischen dem Medium und dem Werkstück und beschleunigen dadurch die Oberflächenbehandlungsrate; Sie können jedoch auch zu einer erhöhten Schädigung der Werkstückoberfläche führen. Beispielsweise ist es bei der Bearbeitung elektronischer Präzisionsbauteile erforderlich, die Vibrationsfrequenz und -amplitude entsprechend zu reduzieren, um eine Über-Bearbeitung zu verhindern.
2. Art, Größe und Füllvolumen von Schleif- und Poliermedien: Medien unterschiedlicher Materialien und Formen üben unterschiedliche Auswirkungen auf die Werkstückoberfläche aus. Härtere Medien-wie Siliziumkarbid-Schleifmittel-eignen sich zum Entfernen von hartnäckigen Graten und Oxidablagerungen, wohingegen weichere Medien-wie Kunststoff-Schleifmittel-für Feinpolieranwendungen eingesetzt werden, bei denen eine hohe Oberflächenqualität erforderlich ist. Die Größe des Mediums beeinflusst die Kontaktfläche und die auf das Werkstück ausgeübte Kraft. Umgekehrt beeinträchtigt ein zu großes oder zu geringes Füllvolumen die Verarbeitungseffizienz und -qualität. Durch ein entsprechendes Füllvolumen wird sichergestellt, dass die Medien im Bearbeitungsbehälter ungehindert fließen können und einen gleichmäßigen Kontakt mit dem Werkstück aufrechterhalten.
3. Bearbeitungszeit: Die Bearbeitungszeit ist ein kritischer Parameter, der die endgültige Oberflächenqualität des Werkstücks beeinflusst. In der Anfangsphase verbessert sich die Oberflächenqualität mit zunehmender Bearbeitungszeit rasch; Sobald jedoch eine bestimmte Dauer erreicht ist, beginnt die Geschwindigkeit der Verbesserung der Oberflächenqualität abzuflachen. Eine weitere Verlängerung der Bearbeitungszeit kann zu einem „Überpolieren“ der Werkstückoberfläche führen-, was sich in einem Rückgang des Oberflächenglanzes, dem Auftreten von mikroskopischen Kratzern oder ähnlichen Defekten bemerkbar macht.
